常規供氣系統

1、特種氣體采用50L的鋼瓶供氣，并放置于特定的氣瓶柜中。

2、配置全自動的PLC控制器，彩色觸摸屏。

3、面板采用壓力傳感器和氣動閥門，自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空。

4、VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助去排空。

5、惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空。

6、VMB主管氣動閥，氮氣吹掃;支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。

管道系統的設計

1、材料的選擇：特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管。

2、主管路系統設計：確認好氣體房和用氣點后，主管路系統的管道線路設置應線路短、拐彎少，布置美觀節省空間;為了精確控制流量，在氣源端可配置壓力變送器、溫控器、電子秤。

施工管理和現場施工的幾個注意點

1、氣管道采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍，所以要求施工人員需專業培訓彎管方面的知識。

2、每日檢查材料質量，需做好檢查記錄，記錄表包括管工彎管的尺寸、質量、是否有變形和劃傷現象。

3、焊工在施工前應注意先焊接試樣，確保焊接作業是否存在焊接隱患。

4、電源變更的時候，需重新作試樣。試樣每次要記錄參數，方便下次對比查看。

5、在焊接作業開始后不間斷充氣的方式，從施工開始到施工結束管道內都要處于沖氣保護的狀態，不進行焊接作業時應當調小管內氣壓。